700 нм. Размер устройств, выполненных на тонкопленочном ниобате лития, может быть уменьшен в десятки раз, причем потребление мощности будет ниже, производительность стабильнее. Для изготовления приподнятых и гребенчатых волноводов, из-за возможности быстро и без дополнительных технологических операций с помощью методов жидкостного химического травления создать требуемый профиль волновода, часто используется –Z-срез LiNbO3. При использовании других кристаллографических ориентаций (+Х-, +Z-срезов) для создания профиля требуется либо использование сложного оборудования (плазмохимическое траление), либо проведение дополнительных технологических операций (ионный обмен). Используя САПР для моделирования фотонных интегральных схем, были созданы модели приподнятого и гребенчатого волноводов на подложке из LiNbO3. В модели приподнятого волновода было учтено градиентное изменение показателя преломления (ПП), так как для его создания используются методы ионного обмена. Градиентный профиль изменения ПП представлен в виде вложенных друг в друга эллипсов, где центральный эллипс представляет собой волноводный слой с максимально измененным показателем преломления. Такое приближение часто используется в литературе [2]. Используемая модель для численного моделирования приподнятого волновода приведена на рис. 2. Рис. 2. Модель гребенчатого волновода с градиентным профилем ПП Для данной модели (рис. 2) были получены следующие результаты: потери на прямом участке волновода для TE-моды составляют 1.0 дБ/см, для TM-моды – 1.8 дБ/см. Для сравнения, потери во внедренных волноводах, где изменение показателя преломления достигается так же с помощью методов ионного обмена составляет в среднем 2.0 дБ/см для ТЕ-моды на прямом участке волновода. При создании модели гребенчатого волновода на тонкопленочном ниобате лития (рис. 3) в качестве характерных размеров были выбраны 9