I, дБ см I, дБ см 0.368 8 0.367 6 0.366 0.365 4 0.364 0.363 2 0.362 0 1.5 2.0 2.5 3.0 R, см 0.0 0.2 а) 0.4 0.6 0.8 1.0 R, см б) Рис. 5. Зависимость оптических потерь TE-моды излучения от радиусов изгиба волновода На основе графиков, представленных на рис. 5, можно сделать вывод, что для целей повышения плотности интеграции оптических устройств на одной подложке, наилучшим вариантом является гребенчатый волновод на основе тонкопленочного ниобата лития. В том случае, когда оптические потери на изгибах не являются критическим требованием ИО устройств, для изготовления оптической схемы могут быть использованы приподнятые волноводы. Полученные данные, после дополнительной проверки и уточнения, лягут в основу моделей фотонных интегральных схем, которые в будущем могут заменить традиционные электронные интегральные схемы. Данная работа выполнена в рамках проекта 02.G25.31.0113 «Разработка базовой технологии и создание производства фотонных интегральных схем для приборов, систем и комплексов оптоэлектронного навигационного приборостроения», реализуемого ОАО «Пермская научно-производственная приборостроительная компания» совместно с ФГБОУ ВПО «Пермский государственный национальный исследовательский университет». Список литературы 1. Сидоров А. И., Никоноров Н. В. Материалы и технологии интегральной оптики. СПб.: СПбГУ ИТМО, 2009. 107 с. 2. Шевцов Д.И. Структурные и оптические свойства метастабильных фаз в протонообменных волноводных слоях на монокристалле ниобата лития. Диссертационная работа. Пермь: ПГУ, 2005. 167 с. 3. Guarino A. Electro-optically tunable microring resonators in lithium niobate // Nature photonics. 2007. Vol. 1. P. 407–410. 11