Рис. 1. Схема изучаемого волновода (глубина травления 1,35 мкм) В ходе моделирования получено распределение оптического излучения в прямом волноводе для исследуемых глубин травления. Результаты приведены на рис. 2. По полученным данным можно сделать вывод, что увеличение глубины травления увеличивает степень ограничения оптической моды в пределах волновода. а) б) Рис. 2. Распределение оптического излучения (Re(Ex)) в прямом волноводе для глубины травления: a)1,35 мкм, б) 2,00 мкм Также подробно было изучено поведение оптического излучения в изогнутом волноводе для глубины травления 1,35 мкм при вариации радиуса изгиба R от 150 до 50 мкм с шагом уменьшения радиуса изгиба ΔR= 20 мкм. Из представленных на рис. 3 результатов наглядно видно, что при некотором критическом радиусе изгиба волновода оптическое излучение, распространяющееся по волноводу, начинает высвечиваться в подложку (радиационные моды), что влечет за собой существенное увеличение оптических потерь. Такое поведение оптического излучения на изгибах волноводов с радиусами, меньше чем критические, влияет на 17