корректную работу всей оптической схемы, поэтому должно обязательно учитываться при проектировании ФИС. а) б) в) г) д) ж) Рис. 3. Распределение оптического излучения (Re(Ex)) в изогнутом волноводе для глубины травления 1,35 мкм и радиуса изгиба: a) 150 мкм, б) 130 мкм, в) 110 мкм, г) 90 мкм, д) 70 мкм, е) 50 мкм Также в ходе работы выявлено влияние глубины травления на оптические потери при маленьких радиусах изгиба. При R = 50 мкм для глубины травления 1,35 мкм потери составили 5,27 дБ/90˚, а при глубине травления 2,00 мкм – 0,08 дБ/90˚. Сравнение оптических потерь при R = 50 мкм представлено на рис. 4. а) б) Рис. 4. Распределение оптического излучения в волноводе при R = 50 мкм и глубине травления а) 1,35 мкм, б) 2,00 мкм 18