По итогам работы был построен график зависимости оптических потерь на изгибе от радиуса кривизны волновода для трех различных глубин травления (Рисунок 5). 100 1,35 мкм 90 1,50 мкм 80 Потери, дБ/см 70 2,00 мкм 60 50 40 30 20 10 0 50 70 90 110 130 150 R·10-4, см Рис. 5. Зависимость потерь на изгибе от радиуса кривизны волновода для различных глубин травления Считая приемлемыми для функционирования ФИС потери в 1 дБ/см, из графика можно получить примерные значения критических радиусов изгиба для каждой глубины травления, которые могут быть использованы при создании компонентов ФИС. Полученные критические радиусы должны обязательно учитываться при проектировании ФИС. Кроме того, для корректной работы ФИС в ходе проектирования может быть использована комбинация волноводов с различной глубиной травления. Данная работа выполнена в рамках проекта 02.G25.31.0113 «Разработка базовой технологии и создание производства фотонных интегральных схем для приборов, систем и комплексов оптоэлектронного навигационного приборостроения», реализуемого ОАО «Пермская научно-производственная приборостроительная компания» совместно с ФГБОУ ВПО «Пермский государственный национальный исследовательский университет». Список литературы 1. Разумовский А. С., Наний О. Е. Словарь нанотехнологичных терминов. М.: Физматлит, 2010. С. 481. 2. Талызин В. П., Нашельский А. Я. Фосфид индия – получение и свойства // Успехи химии. 1986. Т. 55. С. 1083 – 1095. 19