МОДЕЛИРОВАНИЕ РАСПРОСТРАНЕНИЯ ОПТИЧЕСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯ В ПРИПОДНЯТОМ И ГРЕБЕНЧАТОМ ВОЛНОВОДАХ НА ПОДЛОЖКЕ ИЗ LiNbO3 Д. Г. Гилев, У. О. Салгаева, А. Б. Волынцев Пермский государственный национальный исследовательский университет, 614990, Пермь, Букирева, 15 Главным достоинством интегрально-оптических (ИО) устройств на подложке из ниобата лития (LiNbO3) является их быстродействие. Основными элементами таких устройств являются оптические канальные волноводы, которые по типу профиля подразделяются на внедренные и приподнятые. Частным случаем приподнятых волноводов являются гребенчатые, отличающиеся наличием широкого пьедестала (рис. 1) [1]. а) б) в) Рис. 1. Оптические канальные волноводы: а) внедренный, б) приподнятый, в) гребенчатый Приподнятые и гребенчатые волноводы, по сравнению с внедренными, обладают малыми оптическими потерями, в частности на изгибах, что позволяет повысить степень интеграции элементов на одной подложке и уменьшить размеры ИО устройств. Поэтому оптические схемы, включающие в себя такие волноводы на подложке из ниобата лития, являются наиболее перспективными для создания элементной базы для волоконнооптических линий связи, датчиков и других ИО устройств. Для эффективной работы таких устройств необходимо следить за оптическими потерями в волноводе, искать его оптимальные конфигурации. Поэтому целью работы является численное исследование характеристик гребенчатого и приподнятого волноводов на подложке из LiNbO3 для дальнейшего использования созданных моделей в ходе разработки ИО схем. Приподнятый волновод на подложке из LiNbO3 может быть изготовлен конфигурацией методов ионного обмена (Ti-диффузии, протонного обмена, ионной имплантации), также использующихся для создания внедренных волноводов [2], и химического травления (в плазмах и кислотах) (рис. 1б)). Для изготовления гребенчатого волновода требуется тонкая кристаллическая пленка из LiNbO3, которая может быть прикреплена к некоторому кристаллу-носителю или с помощью бондинга, или при использовании промежуточного полимера. Толщина такой пленки обычно составляет 300 – 8