ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОТОНООБМЕННЫХ СЛОЕВ НА Z-СРЕЗАХ НИОБАТА ЛИТИЯ МЕТОДОМ РЕНТГЕНОСТРУКТУРНОГО АНАЛИЗА М.Е., БЕЛОКРЫЛОВ, А.Н.СМИРНОВА Пермский государственный национальный исследовательский университет, 614990, Пермь, Букирева, 15 Объектом исследования являлись протонообменные волноводные слои на поверхности монокристалла ниобата лития. Монокристалл ниобата лития является одноосным сегнетоэлектриком с полярной осью Z. В разных направлениях полярной оси наблюдается разный порядок расположение ионов [1]. В связи с этим проводимость вдоль направлений Z+ и Zотличается в 10 раз [2]. Известно, что скорость травления Z+ и Z- сторон различна [3]. Процесс протонного обмена в ниобате лития является ионным обменом, в ходе которого ионы лития в кристалле замещаются протонами из подходящего источника. В протонообменных слоях на ниобате лития выделают 7 различных фаз, характеризующиеся значениями деформации и показателем преломления в зависимости от концентрации ионов водорода [4]. Непосредственно после протонного обмена на поверхности ниобата лития обраРис. 1. Структурнозуется β-фаза, характеризующаяся больфазовая диаграмма прошими значениями концентрации протонов тонообменных слоёв ниобата лития на Z-срезе [4]. и деформациями решетки в приповерхностном слое. Известно, что глубина и деформации решеток на Z+ и Z- при β-фазе одинаковы [5]. Но не обнаружены исследования по оценкам влияния операции отжига на диффузию ионов водорода в решетке ниобата лития при переходе из β-фазы в α- фазу. Цель работы – изучение протонообменных слоев на Z+ и Z- срезах ниобата лития. Протонный обмен (ПО) проводился в титановом реакторе, в расплаве бензойной кислоты при температуре 190°C в течение 2-х часов. После протонного обмена проводился отжиг образцов на воздухе при различных температурных и временных режимах. В ходе отжига протоны 35