home

Влияние обработки в высокоионизированной среде на структуру и оптические характеристики протоннообменных волноводов в LiNbO3 X-с

?
ВЛИЯНИЕ ОБРАБОТКИ В ВЫСОКОИОНИЗИРОВАННОЙ
СРЕДЕ НА СТРУКТУРУ И ОПТИЧЕСКИЕ
ХАРАКТЕРИСТИКИ ПРОТОННООБМЕННЫХ
ВОЛНОВОДОВ В LiNbO3 X-СРЕЗА
О.Н. ПИЛЮГИНА , А.Б. ВОЛЫНЦЕВ , У.О. САЛГАЕВА , Д.И.
**
**
*
СИДОРОВ , С.С МУШИНСКИЙ , В.И. КИЧИГИН ,
*
И.В. ПЕТУХОВ
*
Пермский государственный национальный исследовательский
университет, 614990, Пермь, Букирева, 15
**
ОАО «Пермская научно-производственная приборостроительная
компания», 614990, Пермь, 25 Октября, 10
*

*

**

В работе представлены результаты исследования структуры и оптических характеристик протоннообменных волноводов, подвергшихся обработке в высокоионизированной среде.
Оптические волноводы являются основным компонентом интегральнооптических систем (ИОС) на основе ниобата лития (НЛ) [1]. В последнее
время уделяется большое внимание улучшению характеристик оптических волноводов в связи с необходимостью повышения чувствительности
ИОС и точности измерений, осуществляемых с их помощью. Для улучшения характеристик оптических волноводов используются комбинированные методы: создание гибридных волноводов [2], протонный обмен
(ПО) с последующим отжигом и ионная имплантация [3, 4]. Гибридные
волноводы способны поддерживать распространение света как одной поляризации, так и обеих поляризаций. Это необходимо при производстве
ряда базовых элементов интегральной оптики. Диффузия протонов после
ПО способствует улучшению характеристик канала и снижению оптических потерь в нем. Ионная имплантация ПО волновода способствует заглублению канала, но в виду того, что имплантируемые частицы обладают огромными энергиями (10-2000 кэВ), они существенно повышают дефектность структуры волновода, тем самым разрушают его. Перспективным методом улучшения характеристик волновода может служить и обработка ПО волноводов в высокоинизированной среде (плазме).
Целью проведенных экспериментов является исследование влияния
обработки в высокоионизированной среде различного состава на структурные и оптические характеристики ПО волноводов в LiNbO3.
Для изготовления образцов волноводных слоев были использованы
пластины X-среза НЛ (конгруэнтного состава). Эти пластины были разре3
заны на образцы размером 10×15×1 мм [1]. После этого они были тща53