ВЛИЯНИЕ ОБРАБОТКИ В ВЫСОКОИОНИЗИРОВАННОЙ СРЕДЕ НА СТРУКТУРУ И ОПТИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ПРОТОННООБМЕННЫХ ВОЛНОВОДОВ В LiNbO3 X-СРЕЗА О.Н. ПИЛЮГИНА , А.Б. ВОЛЫНЦЕВ , У.О. САЛГАЕВА , Д.И. ** ** * СИДОРОВ , С.С МУШИНСКИЙ , В.И. КИЧИГИН , * И.В. ПЕТУХОВ * Пермский государственный национальный исследовательский университет, 614990, Пермь, Букирева, 15 ** ОАО «Пермская научно-производственная приборостроительная компания», 614990, Пермь, 25 Октября, 10 * * ** В работе представлены результаты исследования структуры и оптических характеристик протоннообменных волноводов, подвергшихся обработке в высокоионизированной среде. Оптические волноводы являются основным компонентом интегральнооптических систем (ИОС) на основе ниобата лития (НЛ) [1]. В последнее время уделяется большое внимание улучшению характеристик оптических волноводов в связи с необходимостью повышения чувствительности ИОС и точности измерений, осуществляемых с их помощью. Для улучшения характеристик оптических волноводов используются комбинированные методы: создание гибридных волноводов [2], протонный обмен (ПО) с последующим отжигом и ионная имплантация [3, 4]. Гибридные волноводы способны поддерживать распространение света как одной поляризации, так и обеих поляризаций. Это необходимо при производстве ряда базовых элементов интегральной оптики. Диффузия протонов после ПО способствует улучшению характеристик канала и снижению оптических потерь в нем. Ионная имплантация ПО волновода способствует заглублению канала, но в виду того, что имплантируемые частицы обладают огромными энергиями (10-2000 кэВ), они существенно повышают дефектность структуры волновода, тем самым разрушают его. Перспективным методом улучшения характеристик волновода может служить и обработка ПО волноводов в высокоинизированной среде (плазме). Целью проведенных экспериментов является исследование влияния обработки в высокоионизированной среде различного состава на структурные и оптические характеристики ПО волноводов в LiNbO3. Для изготовления образцов волноводных слоев были использованы пластины X-среза НЛ (конгруэнтного состава). Эти пластины были разре3 заны на образцы размером 10×15×1 мм [1]. После этого они были тща53