ТЕМПЕРАТУРНАЯ СТАБИЛИЗАЦИЯ РАБОЧИХ ХАРАКТЕРИСТИК ФОТОННЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ Д. Г. Гилев, У. О. Салгаева, А. Б. Волынцев Пермский государственный национальный исследовательский университет, 614990, Пермь, Букирева, 15 Фотонная интегральная схема (ФИС) – многофункциональная оптическая микросхема, состоящая из множества оптически связанных между собой компонентов, изготовленных на одной подложке и совместно выполняющих разнообразные функции обработки и передачи оптических сигналов. Рабочие характеристики ФИС чувствительны к воздействию факторов окружающей среды в силу зависимости эффективного показателя преломления от температуры, оказываемого на ФИС давления, состава среды и др. Исключить воздействие на ФИС факторов окружающей среды можно поместив ФИС в герметичный корпус. Однако при этом не решается проблема влияния на рабочие характеристики ФИС локального нагрева, вызванного функционированием активных элементов (лазеров, фотоприемников и др.), интегрированных на оптической подложке. Рассмотрим влияние локального нагрева на рабочие характеристики ФИС на примере интегрально-оптического гироскопа. Интегрально-оптический гироскоп (ИОГ) – устройство, предназначенное для измерения угловых скоростей объекта, на который оно установлено. Чувствительным элементом ИОГ является кольцевой лазер, в активной области которого происходит генерация двух распространяющихся навстречу друг другу оптических сигналов, требующихся для детектирования угловой скорости объекта. В результате квантовомеханических эффектов, имеющих место при генерации оптического излучения, происходит нагрев активной области кольцевого лазера, вследствие чего смещается его резонансный пик. Если при детектировании сигнала, поступающего с чувствительного элемента ИОГ происходит измерение интенсивности I0 в некоторой выбранной рабочей точке резонансной кривой на заданной длине волны (Рис. 1), то при повышении температуры на 10 °С и смещении резонансного пика за детектируемое значение интенсивности будет принято значение Iизм, в результате чего ошибка измерения угловой скорости может достигнуть 60 %. Для повышения точности измерений должна быть решена проблема термостабилизации, которая решается путем размещения чувствительного элемента ИОГ или ФИС на термостабилизирующем элементе Пельтье в герметичном корпусе. Целью работы являлась разработка конструкции термостабилизирующего модуля для стабильной работы ФИС и оценка эффективности его работы. Термостабилизирующий модуль (ТСМ) представляет собой совокупность термоэлектрических полупроводниковых столбиков, собранный в определенную матрицу, и зажатых с двух сторон керамическими пластинами, ко- 9