МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ ГИБРИДНЫХ ВОЛНОВОДОВ В НИОБАТЕ ЛИТИЯ А. В. Томилова, И. С. Азанова Пермский государственный национальный исследовательский университет, 614990, Пермь, Букирева, 15 Волновод – это область с повышенным показателем (ПП) преломления, внутри которой свет, распространяясь, испытывает многочисленные полные внутренние отражения. Волноводы на основе монокристаллов ниобата лития являются базовыми структурами для изготовления ряда интегральнооптических компонентов. Наибольшее распространение получили два способа изготовления волноводных слоев: 1) диффузия титана вглубь подложки (Ti:LiNbO3); 2) протонный обмен (H:LiNbO3). Гибридный волновод H:Ti:LiNbO3 – это комбинация протонообменного и титанодиффузного волновода, сформированного на подложке монокристалла LiNbO3, с целью улучшения электрооптических свойств [1]. Данные волноводы обладают рядом преимуществ: путем варьирования соотношения концентрации водорода и титана в гибридном слое можно получить волновод, поддерживающий распространение света как одной поляризации, так и обеих. Диффузия протонов после протонного обмена способствует улучшению характеристик канала и снижению оптических потерь в нем. Рассмотрим несколько методов исследования гибридных волноводов. Дифракционный структурный анализ Данный метод позволяет определить атомную структуру ниобата лития с помощью дифракции рентгеновских лучей на двухкристальном спектрометре (Рис. 1). Лучи, пройдя коллиматорную щель, падали на монохроматор – бездислокационный монокристалл Si. Отраженный от кристалла монохроматизированный луч падает на исследуемый кристалл, отражается и регистрируется счетчиком. Для измерении используется характеристическое излучение Со, соответствующее Kβ серии (β излучение дает минимальный уровень искажений). Дифракционные кривые получают для семейства плоскостей с индексами (110). Исследуемый кристалл поворачивается вблизи отражающего положения с угловой скоростью ω. В данном случае показана параллельная установка кристаллов (монохроматор параллелен образцу), при которой угловая дисперсия равна разности дисперсий от каждого кристалла [2]. Модовая спектроскопия Для определения изменения показателя преломления ∆ne(x) используется метод модовой спектроскопии. С помощью метода призменного ввода измеряются эффективные ПП волноводных мод на длине волны λ=0,633 μm. Измеряемый образец приводят в контакт с 42