home

Фотолитография для переходных элементов фотоники

?
ФОТОЛИТОГРАФИЯ ДЛЯ ПЕРЕХОДНЫХ
ЭЛЕМЕНТОВ ФОТОНИКИ
А. С. Вахрушев, А. Р. Рахматуллина, Р. С. Пономарев
Пермский государственный национальный исследовательский университет,
614990, Пермь, Букирева, 15
В данной статье рассмотрена возможность проведения фотолитографии для
изготовления стыковочного модуля ФИС в условиях малых предприятий, не
оснащенных специализированным оборудованием и чистыми помещениями.
Определен оптимальный способ и количество наносимого фоторезиста и
температуру дубления. Установлено оптимальное время экспонирования
фоторезиста. Выявлен оптимальный состав, концентрация травителя и время
травления. Установлены факторы, препятствующие процессу создания
переходных элементов фотоники методом фотолитографии. На основе
полученных результатов можно сделать вывод, что создание элементов
пассивной стыковки возможно без специализированного оборудования и вне
чистых помещений.
Ключевые слова: стыковочный модуль; фотолитография; пассивная стыковка

PHOTOLITHOGRAPHY FOR TRANSITION ELEMENTS OF
PHOTONICS
A. S. Vakhrushev, A. R. Rakhmatullina, R. S. Ponomaryev
Perm State University, Bukireva St. 15, 614990, Perm
In the given article the opportunity of carrying out photolithography for
manufacturing of the FIS docking module in the conditions of small enterprises that
are not equipped with specialized equipment and clean rooms is considered. The
optimum method and the amount of the photoresist applied and the tanning
temperature are determined. The optimum exposure time of the photoresist has
been established. The optimum composition, concentration of etchant and time of
etching are revealed. Factors that block the processes of photolithography are
established. Based on the search results, it can be concluded that the creation of
passive docking elements is possible without specialized equipment and outside
cleanrooms.
Keywords: docking module; photolithography; passive docking

Для соединения волокна и других оптоэлектронных устройств часто
используется активный метод стыковки. Стоимость оборудования для
активной стыковки очень высока, и время выполнения операции очень
большое, особенно касаемо стыковки волоконных массивов. Например,
установка автоматической стыковки Fiberpro IFA 600 стоит 230 тыс $.
Таким образом, обычный процесс стыковки является дорогим и дает малый
выход, имеет малую пропускную способность. Следовательно,
прикладываются определенные усилия для разработки метода пассивной

14