ФОТОЛИТОГРАФИЯ ДЛЯ ПЕРЕХОДНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ФОТОНИКИ А. С. Вахрушев, А. Р. Рахматуллина, Р. С. Пономарев Пермский государственный национальный исследовательский университет, 614990, Пермь, Букирева, 15 В данной статье рассмотрена возможность проведения фотолитографии для изготовления стыковочного модуля ФИС в условиях малых предприятий, не оснащенных специализированным оборудованием и чистыми помещениями. Определен оптимальный способ и количество наносимого фоторезиста и температуру дубления. Установлено оптимальное время экспонирования фоторезиста. Выявлен оптимальный состав, концентрация травителя и время травления. Установлены факторы, препятствующие процессу создания переходных элементов фотоники методом фотолитографии. На основе полученных результатов можно сделать вывод, что создание элементов пассивной стыковки возможно без специализированного оборудования и вне чистых помещений. Ключевые слова: стыковочный модуль; фотолитография; пассивная стыковка PHOTOLITHOGRAPHY FOR TRANSITION ELEMENTS OF PHOTONICS A. S. Vakhrushev, A. R. Rakhmatullina, R. S. Ponomaryev Perm State University, Bukireva St. 15, 614990, Perm In the given article the opportunity of carrying out photolithography for manufacturing of the FIS docking module in the conditions of small enterprises that are not equipped with specialized equipment and clean rooms is considered. The optimum method and the amount of the photoresist applied and the tanning temperature are determined. The optimum exposure time of the photoresist has been established. The optimum composition, concentration of etchant and time of etching are revealed. Factors that block the processes of photolithography are established. Based on the search results, it can be concluded that the creation of passive docking elements is possible without specialized equipment and outside cleanrooms. Keywords: docking module; photolithography; passive docking Для соединения волокна и других оптоэлектронных устройств часто используется активный метод стыковки. Стоимость оборудования для активной стыковки очень высока, и время выполнения операции очень большое, особенно касаемо стыковки волоконных массивов. Например, установка автоматической стыковки Fiberpro IFA 600 стоит 230 тыс $. Таким образом, обычный процесс стыковки является дорогим и дает малый выход, имеет малую пропускную способность. Следовательно, прикладываются определенные усилия для разработки метода пассивной 14