primary logosecondary logo

Исследование степени достоверности бесконтактной профилометрии на прозрачных кристаллах после их травления

?
ИССЛЕДОВАНИЕ СТЕПЕНИ ДОСТОВЕРНОСТИ
БЕСКОНТАКТНОЙ ПРОФИЛОМЕТРИИ
НА ПРОЗРАЧНЫХ КРИСТАЛЛАХ ПОСЛЕ ИХ ТРАВЛЕНИЯ
Е. О. Трушникова
Пермский государственный национальный исследовательский университет,
614990, Пермь, Букирева, 15
Данная работа посвящена методическим вопросам достоверности измерений
выполняемых на оптическом бесконтактном профилометре. Рассмотрены методы контактного и бесконтактного исследования свежих поверхностей образцов, непосредственно после их плазмохимического травления.
Ключевые слова: профилометр; контактный метод; бесконтактный метод; плазмохимическое травление

INVESTIGATION OF THE DEGREE OF RELIABILITY OF
NONCONTACT PROFILOMETRY ON
TRANSPARENT CRYSTALS AFTER THEIR ETCHING
E. O. Trushnikova
Perm State University, Bukireva St. 15, 614990, Perm
This work is devoted to methodological issues of reliability of measurements performed
on an optical noncontact profilometer. Methods of contact and non-contact investigation
of fresh sample surfaces are considered, immediately after their plasma-chemical etching.
Keywords: profilometer; contact method; noncontacts method; plasma-chemical etching

На сегодняшний день существует много методов измерения шероховатости поверхности, которые, в зависимости от его точности, скорости и практичности используются в разных областях микроэлектроники. Рассмотрим
контактный и бесконтактный метод.
1) Контактный (щуповой) метод – это метод, измерения при котором
производятся при помощи профилометра. Профилометр представляет собой
чувствительный датчик, оборудованный тонкой, остро заточенной алмазной
иглой, с так называемой, ощупывающей головкой.
Алмазная игла прижимается и перемещается параллельно исследуемой
поверхности. Опускаясь во впадины, а затем, поднимаясь на выступы во
время движения ощупывающей головки по испытуемой поверхности, игла
колеблется относительно головки соответственно огибаемому профилю.
2) Бесконтактный (оптический) метод: световой поток, проходящий через узкую прямоугольную щель и направленный на исследуемую поверхность под некоторым углом, как бы сечет ее плоскостью перпендикулярно к
следам обработки, следам неровностей и, изображение щели, отражаясь от

32