primary logosecondary logo

Разработка стенда для исследования чувствительного элемента кварцевого маятникового акселерометра

?
РАЗРАБОТКА СТЕНДА ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ
ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА КВАРЦЕВОГО
МАЯТНИКОВОГО АКСЕЛЕРОМЕТРА
К. М. Фадеев
Пермский государственный национальный исследовательский университет,
614990, Пермь, Букирева, 15
В статье описывается принцип работы кварцевого маятникового акселерометра,
дефекты, возникающие при создании маятника. Показаны недостатки текущего
метода проверки маятников на производстве. Предложена конструкция стенда
для исследования существующих дефектов.
Ключевые слова: кварц; акселерометр; Q-flex; MEMS

DEVELOPMENT OF THE EQUIPMENT FOR RESEARCH OF
THE SENSITIVE ELEMENT OF THE QUARTZ
PENDULUM ACCELEROMETER
K. M. Fadeev
Perm State University, Bukireva St. 15, 614990, Perm
This article describes how the quartz pendulum accelerometer works, the defects that
occur when the pendulum is created. Shows the drawbacks of the current method of
checking the pendulum in production. A bench the equipment has been proposed to investigate existing defects.
Keywords: quartz; accelerometer; Q-flex; MEMS

Приоритетной задачей современного приборостроения является создание
приборов обладающих малой массой, размерами, электропотреблением и
себестоимостью при безусловном выполнении целевой функции с заданной
точностью.
С 60-х годов XX века начались научно-технические разработки в области
миниатюрных датчиков и исполнительных устройств различного назначения на базе кремния – основного материала микроэлектроники. К настоящему времени перечень применяемых материалов значительно расширился.
Единство материала и технологии микроэлектроники позволило создать
миниатюрные конструкции на одном кристалле, объединяющем чувствительные элементы (ЧЭ), преобразующие и электронные компоненты, которые принято называть микроэлектромеханическими системами (МЭМС) [1].
МЭМС – это интегрированные системы с размерами от нескольких микрометров до миллиметров, которые объединяют в себе механические и
электрические электронные компоненты. Элемент, реагирующий на изменение измеряемой величины, можно определить как первичный преобразователь, или чувствительный элемент (ЧЭ). К микромеханическим приборам
относятся: микроакселерометры, микродатчики давления, микрогироскопы.
37