primary logosecondary logo

Влияние предотжига пластин ниобата лития на характеристики протонообменных волноводов

?
ВЛИЯНИЕ ПРЕДОТЖИГА ПЛАСТИН
НИОБАТА ЛИТИЯ НА ХАРАКТЕРИСТИКИ
ПРОТОНООБМЕННЫХ ВОЛНОВОДОВ
В. А. Юрьев, А. Б. Волынцев
Пермский государственный национальный исследовательский университет,
614990, Пермь, Букирева, 15
Рассмотрены причины формирования приповерхностного дефектного слоя в
пластинах ниобата лития и его влияние на характеристики планарных волноводов. Предложены способы понижения плотности дефектов и методы исследования структуры волновода. Выявлено, что исследуемые характеристики образцов
зависят от температуры предварительного отжига. Показан аналогичный характер температурной зависимости изменения величины деформации приповерхностного слоя и приращения показателя преломления необыкновенного луча.
Ключевые слова: ниобат лития; протонообменные волноводы; предварительный отжиг;
модовая спектроскопия; рентгеноструктурный анализ

EFFECTS OF PRELIMINARY ANNEALING OF
LITHIUM NIOBATE WAFERS ON
PROTON-EXCHANGED WAVEGUIDES PROPERTIES
V. A. Yur'ev, A. B. Volyntsev
Perm State University, Bukireva St. 15, 614990, Perm
This papers shows the reasons for formation of sub-surface defect layer in lithium niobate wafers and it`s effect on properties of planar waveguides. Possible methods of
lowering the defects concentration are reviewed, as well as some measuring techniques. All measured parameters show dependency from pre-annealing temperature.
Also revealed correlation between residual stress in wafer surface and refractive index
of extraordinary ray.
Keywords: lithium niobate; proton-exchanged waveguides; preliminary annealing; mode spectroscopy; x-ray diffraction analysis

В настоящее время ниобат лития является одним из самых часто применяемых материалов для создания интегрально-оптических схем и элементов. Показано [1, 2], что в процессе производства пластин НЛ происходит
формирование области с повышенной, по отношению к остальному объёму
кристалла, плотностью дислокаций. Данную область называют приповерхностным дефектным слоем. В случае, когда волновод частично или полностью находится в дефектном слое, повышенная плотность дислокаций может повлиять на процессы обмена, приводя к неоднородности структуры
волновода. Это влечёт за собой отсутствие воспроизводимости результатов
работы интегрально-оптической схемы, что является недопустимым в массовом производстве.

53