6 в принципе может достигать 100 ГГц. На практике у современных модуляторов ширина полосы по уровню –3дБ составляет 40÷50 ГГц. Ниобат лития прозрачен для длин волн от 0,4 до 5 мкм, что делает его почти идеальным материалом для применения в оптоволоконных системах и интегрально-оптических устройствах. 2.2. Конструкция интегрального электрооптического модулятора Маха – Цендера Интегральный электрооптический модулятор представляет собой интерферометр Маха – Цендера, изготовленный на Xсрезе монокристалла ниобата лития. X-срезом называют тонкую пластину, вырезанную из монокристалла таким образом, что кристаллографическая ось X перпендикулярна, а кристаллографические оси Z и Y параллельны поверхности среза (рис.2). X Z LiNbO3 Y Рис.2. Х-срез кристалла ниобата лития Интерферометр состоит из двух Y-разветвителей, соединенных прямолинейными участками канальных волноводов. Волноводы направлены вдоль кристаллографической оси Y и перпендикулярно оси Z. Рядом с волноводами напылены металлические электроды (рис.3). При изготовлении модулятора на поверхность пластины методом фотолитографии наносят защитные маски, через которые производят формирование волноводов и напыление электродов. Канальные световоды толщиной до 1мкм создаются методом протонного обмена в расплаве бензойной кислоты о C6H5COOH при Т ≈ 200 С. В ходе реакции ионы лития в по-