93 8.1.3. Датчики Холла Датчики Холла – полупроводниковые приборы, преобразующие величину индукции магнитного поля в электрический сигнал. Датчики Холла применяются, например: – в системах электронного зажигания двигателей внутреннего сгорания, – в приводах дисководов и в двигателях вентиляторов компьютерной техники, – в магнитометрах смартфонов (электронном компасе), – в электроизмерительных приборах для бесконтактного измерения силы тока. Технические характеристики датчиков Холла зависят как от используемого материала, так и от геометрических размеров и формы чувствительного элемента. Для чувствительных элементов датчиков используют пленки Ge, Si, InSb, GaAs 4 толщиной 5÷50 мкм. Пленку полупроводника с добавкой элементов донорной или акцепторной примеси 1 2 наращивают на диэлектрическую подложку (рис.8.4). На края пленки напыляют металлические контакты, к которым припаивают выводы. Полупроводниковый датчик Холла часто 3 объединяют (интегрируют) в одной Рис.8.4. Полупроводниковый микросхеме с усилителем э.д.с. Холла датчик Холла и стабилизатором тока управления. Основным параметром датчика Холла являются его магнитная чувствительность и удельная магнитная чувствительность При измерении напряжения Холла следует иметь ввиду, что между холловскими электродами А и D имеется некоторая разность потенциалов U0 и в отсутствие магнитного поля B. Эта разность потенциалов обусловлена асимметрией контактов (на практике очень трудно точно расположить их на одной эквипотенциальной поверхности (см. рис.8.5) и термо-э.д.с., связанной с неизотермичностью образца. Для исключения влияния начальной разности потенциалов U0 на результаты измерения можно воспользоваться следующим приёмом.