Козлов А.А. «Физико-химические особенности кинетики реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме»

Name: Козлов А.А. «Физико-химические особенности кинетики реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме»
Uploaded: 2024-11-25T16:05:20+05:00